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MEMS乙醇氣體傳感器

MEMS乙醇氣體傳感器是一款采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料,并可檢測空氣中乙醇氣體濃度的氣體檢測儀器。MEMS乙醇氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,對乙醇氣體的靈敏度高,殼體堅固,抗震性好,使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與乙醇氣體濃度相對應的輸出信號。該乙醇傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短等特點,表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

產品介紹:

MEMS乙醇氣體傳感器是一款采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料,并可檢測空氣中乙醇氣體濃度的氣體檢測儀器。MEMS乙醇氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,對乙醇氣體的靈敏度高,殼體堅固,抗震性好,使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與乙醇氣體濃度相對應的輸出信號。該乙醇傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短等特點,表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

產品參數:

檢測氣體:乙醇

乙醇檢測范圍:0-500ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH:2.5V土0.1V AVorDC

負載電阻RL:可調

加熱電阻RH:800+200 (室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1KQ~30KQ

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH士5%RH

標準測試電路:VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V

圖片關鍵詞

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標簽: 乙醇傳感器
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